王航

个人信息

Personal Information

教师拼音名称： Wang Hang
电子邮箱：
所在单位：电气与自动化学院
职务：特聘副研究员
办公地点：武汉大学工学部七教412室
性别：男
在职信息：在职
毕业院校：武汉大学

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研究方向

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放电等离子体刻蚀

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研究ICP/CCP/PECVD/RIE腔体内部等离子体稳定性、负载匹配和放电模式转化