微纳制造与表界面力学

(相关介绍及论文发表详见：https://orcid.org/0000-0002-9906-5351)

(1) 超塑性成型微制造及器件应用

  传感器作为物联网技术的最底层和最前沿，对物联网产业发展具有十分重要的意义。针对传感器微型化和多功能化的发展趋势，开展超塑性成型微制造工艺-微结构/界面-性能关系研究，研发高性能MEMS/NEMS传感器。

(2) 摩擦与超润滑

  世界上约1/3 的能量耗散源自摩擦，约80%的机械部件失效源于磨损。摩擦是一个涉及力学、物理、化学等多过程的复杂的界面问题，一直是学术界和工程界的前沿研究课题。针对范德华层状材料这一理想体系（已实现近“零”准静态干摩擦即结构超润滑），开展扭转范德华层状材料的热力学与界面动力学研究。

(3) 微纳尺度实验技术与方法

  多物理场、多过程耦合是微纳系统的一个典型特征。借助于高分辨光学显微镜和扫描电子显微镜，开展微系统多物理场原位测试的技术与方法研究。