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科研项目
科研项目
[1].
MPCVD设备XXXX与XXXX研制,GF科工局-国家XXX重大工程项目,400万元,项目主持.
[2].
XXXX靶丸制备及XXXX技术攻关,JW装备发展部-GFXXX重大工程项目,200万元,项目主持.
[3].
CVD单晶金刚石薄膜位错缺陷的选区调控方法研究,国家自然科学基金项目-青年科学基金(C类),24万元,项目主持.
[4].
宽禁带半导体异质异构界面的原位监测与调控实验装置,国家自然科学基金重大科研仪器研制项目,7995.8万元,核心骨干.
[5].
薄膜生长缺陷跨时空尺度原位/实时监测与调控实验装置,国家自然科学基金重大科研仪器研制项目,6500万元,核心骨干.
[6].
真空互联薄膜器件创新研发重大科学装置,武汉大学重大工程创新能力建设平台项目(教育部贴息贷款项目),6830万元,核心骨干.
[7].
金刚石基氮化铝薄膜界面热、力学性能调控及异质集成技术研究,深圳市自然科学基金-面上项目,30万元,项目主持.
[8].
高性能GaN/金刚石异质结构的界面设计与制备工艺研究,广东省自然科学基金-面上项目,10万元,项目主持.
[9].
金刚石基AlN异质结的界面设计、制备与优化研究,武汉市知识创新专项项目——曙光计划项目,10万元,项目主持.
[10].
基于表面微结构的大尺寸、低缺陷金刚石薄膜制备工艺研究,中央高校自主科研基金项目——青年教师资助项目,5万元,项目主持.
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