Investigation into photolithography process of FPCB with 18 µm line pitch
发布时间:2024-11-13
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- 所属单位:
- 武汉大学
- 发表刊物:
- Micromachines
- 合写作者:
- Sun K, Wu G*, Liang K*, Sun B, Wang J
- 论文类型:
- 期刊论文
- 卷号:
- 14
- 期号:
- 5
- 页面范围:
- 1020
- 是否译文:
- 否
- 发表时间:
- 2023-05-10
- 收录刊物:
- SCI