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可在线/原位监测的微波等离子体化学气相沉积设备

发布时间：2024-11-13 点击次数：

所属单位：: 武汉大学

发明设计人：: 刘胜, 吴改, 东芳, 汪启军, 甘志银, 曹强

专利类型：: 发明

专利状态：: 授权专利

授权号：: ZL202010272658.3

是否职务专利：: 否

申请日期：: 2020-04-09

上一条：一种具有晶体结构检测及原位修复功能的装置

下一条：一种高效调控CVD单晶金刚石局部区域位错密度的方法