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一种包含拉曼光谱原位测量腔的化学气相沉积装置

发布时间：2024-11-13 点击次数：

所属单位：: 武汉大学

发明设计人：: 曹强, 聂阳天, 刘胜, 吴改, 彭庆

专利类型：: 发明

专利状态：: 授权专利

授权号：: ZL201910131157.0

是否职务专利：: 否

申请日期：: 2019-02-22

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