Laser stealth dicing of β-Ga2O3: Theoretical and experimental studies
发布时间：2026-03-31
点击次数：
- 影响因子：
- 14.3
- DOI码：
- 10.1016/j.jmst.2025.03.044
- 所属单位：
- 武汉大学
- 发表刊物：
- Journal of Materials Science & Technology
- 论文类型：
- 期刊论文
- 卷号：
- 238
- 页面范围：
- 303-312
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2025-12-10
- 收录刊物：
- SCI