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一种基于MBE法的应变金刚石生长掺杂方法及外延结构

发布时间：2024-11-13 点击次数：

所属单位：: 武汉大学

发明设计人：: 刘胜, 沈威, 吴改, 梁康, 郭宇铮, 汪启军, 王诗兆

专利类型：: 发明

专利状态：: 授权专利

授权号：: ZL202210003978.8

是否职务专利：: 否

申请日期：: 2022-01-05

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