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一种优化分子束外延薄膜均匀性的方法

发布时间：2024-11-13 点击次数：

所属单位：: 武汉大学

发明设计人：: 刘胜, 梁康, 吴改, 甘志银

专利类型：: 发明

专利状态：: 授权专利

授权号：: ZL202110985926.0

是否职务专利：: 否

申请日期：: 2021-08-26

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