瞬态热反射系统—transient thermoreflectance(TTR)
测试对象: 硅,砷化镓,氮化镓、碳化硅、氧化镓、金刚石等半导体薄膜或块体;高分子、二氧化硅等绝缘材料;石墨、二硫化钼、氮化硼等二维材料;
测试参数:水平和横向热导率,界面热阻
材料尺寸:水平>1毫米, 厚度大于>100纳米,形状无要求
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瞬态热反射系统—transient thermoreflectance(TTR)
测试对象: 硅,砷化镓,氮化镓、碳化硅、氧化镓、金刚石等半导体薄膜或块体;高分子、二氧化硅等绝缘材料;石墨、二硫化钼、氮化硼等二维材料;
测试参数:水平和横向热导率,界面热阻
材料尺寸:水平>1毫米, 厚度大于>100纳米,形状无要求