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多波长激光瞬态热反射测温系统 MWL-TTR
测试对象: 硅，砷化镓，氮化镓、碳化硅、氧化镓、金刚石等半导体器件
测试参数：沟道温度(Channel)，电极温度(Gate, source and drain)； 稳态或瞬态(ns和sub-micron分辨率)
