袁超

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热反射成像系统—transient thermorefletance image  (TTI)

测试对象: 硅,砷化镓,氮化镓、碳化硅、氧化镓、金刚石等半导体器件

 

测试参数:沟道温度(Channel),电极温度(Gate, source and drain) 稳态或瞬态(nssub-micron分辨率)